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機臺凈化設備
對于晶圓所處非真空得環境，利用晶圓廠得動力系統(N2/XCDA)，使用正壓以及閉環控制系統進行凈化。
U钱包APP SERVERTLP1.0在國內首次實現了極短時間內使FOUP濕度下降到RH1%以下。
可選配置：標配位置傳感器、溫濕度傳感器、壓力計、流量計，可選配MFC
可選配置：標配位置傳感器、溫濕度傳感器、壓力計、流量計，可選配MFC
功能亮點：
親和人機界面
穩定系統集成
獨立式控制板卡
高速凈化
兼容多種EAP通信
軟件描述
TLP Software
TLP Software
具有智能、高效、穩定、專業等特點的上位軟件，配合自定義的吹氣策略和完善的狀態監控，有助于保持晶圓盒內的清潔和干濕度穩定，以保證晶圓的特性和質量。
功能亮點：
? 支持標準的三段式吹氣控制。
? 搭配FabScope 能顯示當前所有設備運行狀態信息。
功能亮點：
? 支持標準的三段式吹氣控制。
? 搭配FabScope 能顯示當前所有設備運行狀態信息。
重要參數
| 技術指標 | 參數 |
潔凈等級 | ≤Class100 |
過濾精度 | 0.003um |
電源 | 220V，50Hz，2A |
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