塔式存儲(chǔ)設(shè)備
Tower Stocker用于半導(dǎo)體晶圓廠潔凈室內(nèi)物料的跨樓層存儲(chǔ)和傳送。
U钱包APP SERVER科技研發(fā)的跨樓存儲(chǔ)設(shè)備順利獲得主機(jī)升降取放進(jìn)行跨樓層傳送,升降速度可達(dá)3.5 m/s,實(shí)現(xiàn)潔凈傳送。
可選配置:人工口/天車口數(shù)量
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可選配置:人工口/天車口數(shù)量
軟件描述
MSSC存儲(chǔ)控制系統(tǒng)
MeetFuture Smart Storage Controller
給予對(duì)無(wú)塵室存儲(chǔ)庫(kù)的智能化管理功能,順利獲得HSMS標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議接收來(lái)自客戶上位系統(tǒng)如MCS下發(fā)的搬運(yùn)指令控制自動(dòng)存取機(jī)械手實(shí)現(xiàn)光罩盒的存取動(dòng)作。
應(yīng)用場(chǎng)景 : 存儲(chǔ)設(shè)備的控制與庫(kù)存查詢
功能亮點(diǎn):
? U钱包APP SERVER智能存儲(chǔ)控制系統(tǒng)采用的智能算法優(yōu)化存儲(chǔ)庫(kù)的指令執(zhí)行和貨位管理邏輯縮短光罩盒的存取搬運(yùn)時(shí)間提高存儲(chǔ)庫(kù)出入庫(kù)頻次和利用效率。
應(yīng)用場(chǎng)景 : 存儲(chǔ)設(shè)備的控制與庫(kù)存查詢
功能亮點(diǎn):
? U钱包APP SERVER智能存儲(chǔ)控制系統(tǒng)采用的智能算法優(yōu)化存儲(chǔ)庫(kù)的指令執(zhí)行和貨位管理邏輯縮短光罩盒的存取搬運(yùn)時(shí)間提高存儲(chǔ)庫(kù)出入庫(kù)頻次和利用效率。
重要參數(shù)
| 技術(shù)指標(biāo) | 參數(shù) |
| 尺寸 | 1800mm(W) x 1800mm(L) |
| 傳動(dòng)方式 | Y/R/A 減速機(jī)+皮帶 |
| 重復(fù)點(diǎn)位精度 | ±0.5mm |
噪音 | ≤75db |
| 震動(dòng) | ≤0.5G |
| 潔凈等級(jí) | Class:100 |
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