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產(chǎn)品中心

AMHS傳輸設(shè)備

天車潔凈室傳送線協(xié)作式機器人

AMHS存儲凈化設(shè)備

晶圓盒存儲設(shè)備光罩盒存儲設(shè)備塔式存儲設(shè)備近機臺緩存設(shè)備機臺凈化設(shè)備空中緩存凈化設(shè)備光罩盒存儲設(shè)備機臺前端凈化設(shè)備人工上下料凈化機臺電子貨架

AMHS 軟件系統(tǒng)

MCS物料控制系統(tǒng) AMS監(jiān)控仿真系統(tǒng)

AMHS傳感控制設(shè)備

RFID 讀碼器 SmartTag 讀碼器 E84光通信

晶圓盒存儲設(shè)備

Stocker用于半導體潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工序與工序之間晶圓載具的傳送和存儲，支持多種載具POD/Foup，以及凈化功能。 U钱包APP SERVERStocker 走行可達2m/s，性能追趕業(yè)內(nèi)頂級水平，并致力于打造國內(nèi)乃至全球的高性能設(shè)備。

可選配置：人工口/天車口數(shù)量/Sort口/Purge 功能/Auto Teaching/RFID/無線供電

功能亮點：

親和人機界面

穩(wěn)定系統(tǒng)集成

符合SEMI標準的間距設(shè)計

具備凈化系統(tǒng)

具有SEMI CE/S2/S23/F47認證

可與多家MCS對接

Port口數(shù)量可靈活配置

軟件描述

MSSC存儲控制系統(tǒng)

MeetFuture Smart Storage Controller

給予對STK的智能化管理功能，遵循SEMI E88協(xié)議，接收客戶上位系統(tǒng)如MCS的命令指派來實現(xiàn)對晶圓盒的入庫和出庫操作。配合3D相機，可快速實現(xiàn)AutoTeach 功能,方便工廠安裝實施。支持RFID、SmartTag 等標簽的讀取。搭配U钱包APP SERVER自研的RFID、SmartTag、E84模塊，讓設(shè)備讀取成功率達到同行領(lǐng)先標準。

應(yīng)用場景：存儲設(shè)備的控制與庫存查詢

功能亮點：
? U钱包APP SERVER智能存儲控制系統(tǒng)采用了智能算法優(yōu)化存儲庫的指令執(zhí)行和貨位管理邏輯縮短晶圓盒的存取搬運時間提高存儲庫出入庫頻次和利用效率。
? 支持與多種主流的MCS對接，方便系統(tǒng)開始實施。

重要參數(shù)

技術(shù)指標	參數(shù)
尺寸（長寬高）	8300(可定制)14305350 mm(可定制)
存儲類型	POD
潔凈等級	≤Class100
throughput	≥180Lot/H
震動	<0.5g
噪音	＜75DB