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AMHS傳輸設備

天車潔凈室傳送線協作式機器人

AMHS存儲凈化設備

晶圓盒存儲設備光罩盒存儲設備塔式存儲設備近機臺緩存設備機臺凈化設備空中緩存凈化設備光罩盒存儲設備機臺前端凈化設備人工上下料凈化機臺電子貨架

AMHS 軟件系統

MCS物料控制系統 AMS監控仿真系統

AMHS傳感控制設備

RFID 讀碼器 SmartTag 讀碼器 E84光通信

近機臺緩存設備

NTB(Near Tool Buffer)用于晶圓廠對接天車與機臺上下料口的緩存設備，減少機臺等待時間，提高機臺的利用率。 U钱包APP SERVERNTB 設計符合SEMI E15.1，可與符合E15.1 標準的Load Port完美對接。

可選配置：2/3/4 Port

功能亮點：

親和人機界面

穩定系統集成

個性化定制Buffer數量

快速移動功能

具有SEMI S2/F47認證

兼容EAP/MCS通信

軟件描述

智能緩存控制系統

NTB Software

具有智能、高效、穩定、專業等特點的NTB監控軟件，給予對無塵室存儲庫的智能化管理功能，順利獲得HSMS標準協議接收來自客戶上位系統如MCS或EAP下發的搬運指令，實現FOUP的存取動作。順利獲得E84 實現與標準LoadPort 或者Sort 設備對接。

NTB服務端實現接受上位MCS或者下位NTB用戶手動創建的任務，將指令轉發PLC執行，并實時監控 PLC的執行反饋信息，上報PLC 執行信息和異常報警信息，以達到自動進行入庫和出庫控制和設備狀態監控上報。

功能亮點：
? 作為制程設備的擴展口，能與標準設備快速對接，解決部分無法與天車對接的設備遇到的問題。
? 采用智能算法優化存儲庫的指令執行和貨位管理邏輯，縮短晶圓盒的存取搬運時間。
? 提高存儲庫出入庫頻次和利用效率，最終提高晶圓廠的單位產出率，為晶圓廠創造更多的價值。

重要參數

技術指標	參數
尺寸（長寬高）	2 Port:2220(可定制)7502780(可定制)
定位精度	±0.5mm
存儲類型	Foup
潔凈等級	≤Class100
throughput	<30s
震動	<0.5g
噪音	＜75DB