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產品中心

AMHS傳輸設備

天車潔凈室傳送線協作式機器人

AMHS存儲凈化設備

晶圓盒存儲設備光罩盒存儲設備塔式存儲設備近機臺緩存設備機臺凈化設備空中緩存凈化設備光罩盒存儲設備機臺前端凈化設備人工上下料凈化機臺電子貨架

AMHS 軟件系統

MCS物料控制系統 AMS監控仿真系統

AMHS傳感控制設備

RFID 讀碼器 SmartTag 讀碼器 E84光通信

光罩盒存儲設備

Reticle Stocker用于半導體潔凈室內光罩盒存儲及傳送，可實現與天車自動對接，人工對接，保證光罩品質，從而達到提高晶圓廠整體產品良率的目的。MF Reticle Stocker 可適配帶提拔和非提拔兩種樣式。

可選配置：人工口/天車口數量/Purge 功能/Auto Teaching/RFID/無線供電

功能亮點：

親和人機界面

穩定系統集成

符合SEMI標準的間距設計

具備凈化系統以及凈化統計功能

可與多家MCS對接

Port口數量可靈活配置

集成凈化功能

軟件描述

MSSC存儲控制系統

MeetFuture Smart Storage Controller

給予對STK的智能化管理功能，遵循SEMI E88協議，接收客戶上位系統如MCS的命令指派來實現對晶圓盒的入庫和出庫操作。配合3D相機，可快速實現AutoTeach 功能,方便工廠安裝實施。支持RFID、SmartTag 等標簽的讀取。搭配U钱包APP SERVER自研的RFID、SmartTag、E84模塊，讓設備讀取成功率達到同行領先標準。

應用場景：存儲設備的控制與庫存查詢

功能亮點：
? U钱包APP SERVER智能存儲控制系統采用了智能算法優化存儲庫的指令執行和貨位管理邏輯縮短晶圓盒的存取搬運時間提高存儲庫出入庫頻次和利用效率。
? 支持與多種主流的MCS對接，方便系統開始實施。
? 支持多路氣體流量、壓力、濕度的實時監控。

重要參數

技術指標	參數
尺寸（長寬高）	8300(可定制)14305350 mm(可定制)
重量（滿載/空載）	7.2t
定位精度	±0.5mm
存儲類型	Reticle
潔凈等級	≤Class100
吞吐量	≥180Lot/H
震動	<0.5g
噪音	＜75DB