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協作式機器人
半導體晶圓廠地面搬運FOUP/POD，對接MRC進行任務調度；
實現設備與設備間搬運、設備與E-Rack間搬運。
實現設備與設備間搬運、設備與E-Rack間搬運。
功能亮點：
親和人機界面
穩定系統集成
對接多種設備
具有Semi S2，Semi S17認證
重要參數
| 技術指標 | 參數 |
| 裝載量 | 2個Foup |
潔凈等級 | Class100 |
MR 認證標準 | Semi S2，Semi S17 |
續航時間 | 8h |
充電方式 | 手動更換電池或自動充電 |
充電時間 | 4h |
導航方式 | 安全掃描激光器、SLAM 掃描 |
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